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HNPM高性能泵在晶圓鍵合涂層設備的應用案
點擊次數:2654 更新時間:2022-08-15
 

德國HNP Mikrosysteme(下文簡稱為“HNPM)公司專注研發(fā),制造和銷售微型齒輪微量泵。該泵能快速、精準輸送填充微量液體,并成熟應用與生命科學和分析儀器領域、機械和微型工程、化學和制藥工藝工程等領域。HNPM公司還提供開發(fā)配料系統(tǒng)的客戶定制服務。

HNPM環(huán)形齒輪泵主要產品:

HNPM高性能、HNPM低壓泵、HNPM惰性密封泵、HNPM模塊泵、HNPM磁性密封齒輪泵5大系列。

HNPM高性能泵mzr-7205在晶圓鍵合涂層設備的應用案例:

SUSS MicroTec集團ACS200 GEN3自動涂布機既包含大量的創(chuàng)新設計,又結合了GammaACS200Plus平臺的最佳優(yōu)點。最多能夠配備4個涂膠顯影模塊和19個冷熱板,非常適合大規(guī)模生產。該平臺具有的模塊配置靈活性,其技術不僅可以滿足先進封裝、MEMSLED等應用要求,同時也適合研發(fā)和大規(guī)模生產的需求。在這個平臺上使用HNPM高性能泵mzr-7205,實現(xiàn)了高精度、低脈動、低體積劑量,介質是丙酮與光刻膠。

SUSS選用HNPM高性能泵mzr-7205的要求:

?低脈動、可重復的體積流量。

?體積流量與線速度的動態(tài)適應性。

?緊湊型計量泵

?集成微控制器

?控制系統(tǒng)的簡單集成

HNPM高性能泵mzr-7205特點:

HNPM高性能泵mzr-7205的流量范圍為0.048-288 ml/min,HNPM高性能泵mzr-7205的主要特點高精度、低脈動、低體積劑量(即使是非潤滑液體)或高壓、緊湊設計和集成微控制器。HNPM高性能泵mzr-7205允許在較寬的粘度范圍內給藥,并顯示出較小的經濟尺寸。HNPM高性能泵mzr-7205以工業(yè)生產和工藝技術應用為。HNPM高性能泵mzr-7205設計用于連續(xù)輸送和離散劑量的水、水溶液、溶劑、甲醇、油、潤滑劑、粘合劑、油墨和油漆以及其他高粘度液體。

HNPM高性能泵其他型號:

mzr-2505、mzr-2905mzr-4605、mzr-7205、mzr-11508

 

 
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